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洁净棚(Clean Booth) 是一种模块化、可快速搭建的局部高洁净度环境,核心参数围绕洁净度、气流、温湿度、压差、噪音、照明等维度,用于控制悬浮粒子、微生物与静电,满足精密制造、医药、电子等行业的局部无尘需求。
| 等级 | ISO等级 | ≥0.5μm粒子上限 | ≥5μm粒子上限 | 典型应用 |
| 百级 | ISO 5 | ≤ 3,520 | ≤ 29 | 半导体光刻、精密装配、无菌灌装 |
| 千级 | ISO 6 | ≤ 35,300 | ≤ 293 | 半导体封装、医疗器械组装 |
| 万级 | ISO 7 | ≤ 352,000 | ≤ 2,000 | 电子测试、食品包装、一般医药 |
| 十万级 | ISO 8 | ≤ 3,520,000 | ≤ 20,000 | 普通电子、注塑、包装车间 |
| 等级 | 气流形式 | 截面风速(m/s) | 换气次数(次/h) | FFU配置建议 |
| 百级 | 垂直单向流 | 0.36~0.54 | — | 满布 FFU |
| 千级 | 乱流 | — | 40~70 | 顶部密布 |
| 万级 | 乱流 | — | 20~50 | 间隔布置 |
| 十万级 | 乱流 | — | 10~25 | 局部重点布置 |
框架:铝合金型材(主流)、不锈钢、喷塑铁方通
特性:不产尘、不积尘、防锈、轻量化、易拆装维护
软帘:0.5mm 防静电 PVC 网格帘(透明度高、防静电、柔韧)
硬围:亚克力 / PC 透明板(密封更好、可视性强)
顶部:铝塑板 / 彩钢板 + FFU 排布区
气流形式
百级及以上(ISO 5):垂直单向流(满布高效过滤器)
风速:0.36–0.54 m/s(工作区),偏差 ≤ ±20%
千级 / 万级:非单向流(乱流),靠风量稀释污染
换气次数(非单向流)
千级:≥ 50 次 / 小时
万级:≥ 25 次 / 小时
FFU 规格(风机过滤单元)
尺寸:1175×575 / 1175×1175 mm
风量:1200–2200 m³/h
过滤:初效 G4 + 高效 H13/H14,对 0.3μm 效率 99.99%–99.9995%
温度:20–26℃,公差 ±1–2℃
湿度:40%–60% RH,公差 ±5% RH
静压差(关键防污染)
洁净区 → 非洁净区:≥ 5 Pa
高 级别 → 低级别:≥ 5–10 Pa
防止倒灌、保证气流单向
照度:300–600 lx(工作区),均匀无眩光
噪音:≤ 60–65 dB(A)(动态)
· 浮游菌
o 百级:≤ 5 个 /m³
o 千级:≤ 50 个 /m³
o 万级:≤ 500 个 /m³
· 沉降菌(Φ90mm 皿,0.5h)
o 百级:≤ 1 个
o 千级:≤ 3 个
o 万级:≤ 10 个
· 防静电:表面电阻 10⁶–10⁹ Ω,接地可靠
· 照明:净化 LED 平板灯(无尘、防水、无积尘面)
· 电源:220V/380V,50Hz,配漏电保护
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